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Z-Axis Nanopositioners piezo-elettrico per le applicazioni estreme di precisione

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Le fasi nanopositioning piezo-elettriche di serie di Aerotech QNP-Z uniscono Aerotech? s che coltiva la famiglia piezo-elettrica della fase che include il QNP-L lineare e fasi di QNP-XY

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La serie di QNP-Z fornisce la risoluzione, le linearità, la ripetibilità e l'alta dinamica richiesta per le applicazioni più esigenti da microscopia all'allineamento di ottica. Con risoluzione a 0.15 nanometri, la linearità a 0.007% e la ripetibilità a 1 nanometro, precisione del nanometro-livello è rassicuranti.

Con l'alta dinamica (frequenza di risonanza e rigidezza) gli utenti possono realizzare l'più alto rendimento nei processi impegnativi. Varie corse (100? m. a 600? m), le opzioni di risposte e le versioni di vuoto aggiungono alla versatilità eccezionale di questa serie della fase.

Alta qualità in un pacchetto compatto

Le fasi piezo-elettriche di QNP-Z sono guidate dalle flessioni di precisione che sono ottimizzate usando l'analisi di elemento limitato. Il disegno risultante offre la rigidezza eccezionale e la frequenza di risonanza (fino a 1050 hertz) che permettono all'alto rendimento trattato e digiuna risposta a circuito chiuso. Queste fasi sono state destinate per fornire la prestazione geometrica eccellente (rettitudine ed errori angolari) mentre allo stesso tempo minimizzano il formato generale del pacchetto della fase.

Ad alta definizione e posizionando esattezza

Tutte le risposte a circuito chiuso facoltative di offerta piezo-elettrica delle fasi di QNP usando un disegno capacitivo unico del sensore per la risoluzione di secondario-nanometro e le alte linearità. I sensori capacitivi misurano l'uscita del posizionamento del carrello direttamente, permettendo all'esattezza ed alla ripetibilità superiori.

Controllo di Ultra-Precisione

Quando accoppiato con Aerotech? i regolatori di Q-serie di s e gli azionamenti, fasi piezo-elettriche di QNP dimostrano il secondario-nanometro che posiziona la stabilità di in-posizione e di risoluzione (nervosismo) e alto-posizionante la larghezza di banda. Opzioni di software quale Aerotech? i pacchetti della cassetta portautensili di comandi dinamici di s e del progettista di movimento forniscono un ospite dell'avanzato di tuttavia gli attrezzi di facile impiego quali controllo di apprendimento, l'annullamento armonico e l'ordine che modella, fornendo gli errori di inseguimento migliori e più veloce punto-e-depositano i periodi.

Flessibilità di disegno

Aerotech? le fasi piezo-elettriche di s QNP sono disponibili con risposte del sensore di capacità o senza risposte (ad anello aperto). Ad anello aperto fornisce un'opzione redditizia per le applicazioni dove il formato compatto, la alto-dinamica e il secondario-nanometro che posiziona la risoluzione sono richiesti, ma l'esattezza e la ripetibilità di posizionamento assolute non sono richieste. I disegni ad anello aperto possono anche essere usati dove la posizione piezo-elettrica è controllata via una fonte esterna di risposte (interferometro, sistema di visione, rivelatore fotoelettrico, ecc.).