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NUOVO: modulo ad alta definizione della macchina fotografica da tecnologia 4D

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Il FlexCam è un compatto, modulo di alta risoluzione di metrologia 3D per in situ rotolare--rotola la misura dei substrati, delle pellicole della barriera e degli strati intermedi. I moduli di FlexCam forniscono la risoluzione verticale di secondario-nanometro e micrometro-regolano la risoluzione laterale per la rugosità di in-processo e la quantificazione di difetto.

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La rugosità di superficie ed i difetti interessano la longevità delle componenti depositate sui substrati. FlexCam permette in tempo reale al controllo della rugosità più di meno di 0.5nm rms, sia nonché che esclusiva dei difetti sulla pellicola. Il sistema fornisce la misura esatta malgrado la distanza massima, lo sbattimento di fotoricettore ed altri effetti che possono variare la posizione relativa del substrato riguardo al sistema di misura. Nessun altro sistema può abbinare la relativa prestazione.

FlexCam inoltre identifica e misura i difetti, registranti la loro posizione all'interno del rullo. Le statistiche multiple di difetto sono calcolate compreso zona, volume, profondità ed il pendio, con i test di verifica selezionabili dall'utente venire a mancare/del passaggio mentre ciascuna metrica può avere effetti contrari sulla prestazione del dispositivo dell'estremità o della barriera. Estrinseco contro i difetti intrinsechi può essere discriminato per contribuire ad isolare la loro causa di origine. Dove i sistemi di ispezione del luminoso-campo sono sensibili alla parte della pellicola così come la superficie del rullo, 4D's FlexCam è immune a tali effetti, misuranti soltanto la superficie superiore.