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Advanced Energy annuncia una piattaforma di rilevamento multicanale ad alta precisione con un intervallo di temperatura molto ampio

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Piattaforma di termometria FluorOptic® (FOT) a cinque canali Luxtron® con una precisione leader del settore per il rilevamento di temperature estremamente basse e alte

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DENVER, Colo, 20 agosto 2023 - Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS) - leader mondiale nelle soluzioni di conversione, misurazione e controllo dell'energia di precisione e altamente ingegnerizzate - ha ampliato la sua famiglia di termometri Luxtron® FluorOptic® (FOT) con una piattaforma di convertitori altamente integrata che fornisce un rilevamento di alta precisione da temperature estremamente basse a temperature estremamente elevate.

Ideale per i processi di deposizione e incisione di semiconduttori potenziati al plasma, il nuovo Luxtron M-1100 opera da -200°C, l'inizio della gamma criogenica, fino a temperature "hot chuck" di 450°C con un'accuratezza leader del settore di +/- 0,1°C e una stabilità di +/- 0,05°C. L'integrazione di cinque canali supporta il monitoraggio di più sonde da un unico convertitore, mentre le uscite di comunicazione flessibili semplificano il monitoraggio digitale, gli aggiornamenti e l'integrazione del sistema.

"Il monitoraggio accurato in intervalli di temperatura estesi è fondamentale per i produttori di semiconduttori che vogliono soddisfare i complessi requisiti di incisione e deposizione dei processi di fabbricazione di prossima generazione", ha dichiarato Dhaval Dhayatkar, vicepresidente e direttore generale dei prodotti di rilevamento e controllo critici di Advanced Energy. "L'M-1100 di Luxtron estende ulteriormente la nostra leadership nella termometria a fibre ottiche a fosforo ad alta precisione e soddisfa le richieste dei clienti di ridurre al minimo le spese generali di misura e di integrarsi nei sistemi di monitoraggio e controllo"

Sfruttando le sonde in fibra ottica con la tecnologia dei sensori al fosforo, i sistemi di rilevamento FOT di Luxtron combinano convertitori ad alte prestazioni con una sorgente luminosa avanzata, un algoritmo software proprietario del fotorilevatore e circuiti di amplificazione a basso rumore. Il modello M-1100 di Luxtron è il primo a offrire interfacce di comunicazione analogiche e EtherCAT.

Il nuovo convertitore semplifica l'implementazione consentendo il montaggio a parete sul lato del sistema da monitorare. L'esperienza dell'utente è ulteriormente migliorata grazie al supporto dei team di ingegneri globali di Advanced Energy, che collaborano con gli OEM per sviluppare sonde personalizzate per applicazioni all'avanguardia.