#Tendenze
Banchi di verifica per pannelli gas: una scala di riferimenti che tiene l'1% della lettura
Una scala di misuratori laminari copre da pochi SCCM a migliaia di SLPM in una sola famiglia.
Prima che un pannello gas o un regolatore di portata massica parta verso uno strumento di deposizione o di attacco, ogni canale viene verificato rispetto a un riferimento e l'assieme viene provato per la tenuta. Gli integratori richiedono di solito almeno l'1% della lettura su tutto il campo, e un solo riferimento non può coprire circa cinque decadi. Una scala di misuratori a pressione differenziale laminare, ciascuno usato solo dove tiene l'1%, copre da pochi SCCM a migliaia di SLPM in una sola famiglia, con ±0,5% della lettura o ±0,1% del fondo scala e una ripetibilità di ±(0,1% della lettura + 0,02% del fondo scala). Un misuratore a bassa portata legge perdite di decine di SCCM, e un manometro con ±0,125% del fondo scala legge la prova di decadimento della pressione. Quando il banco deve imporre una portata, un regolatore ha lo stesso ingombro e la stessa interfaccia.
