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L'angstrom avanzato migliora il suo Mini SEM da tavolino AA-6000

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L'angstrom avanzato migliora il suo Mini SEM da tavolino AA-6000

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Introduzioni

Angstrom-mini-SEM è un vero microscopio elettronico a scansione multiuso e multiutente da tavolino. Eccelle nella versatilità e nella flessibilità combinando il rendimento elevato in tutti i modi di SEM & il contatore della particella facilmente dell'operazione in un ambiente multiutente della ricerca dei materiali e nell'equilibrio perfetto fra la configurazione stabile e la risoluzione eccellente.

Specifiche

Risoluzione

5nm @ 20kV (opzione: 4nm@30KV)

Tensione di accelerazione

0.6KeV ~ 20KeV (opzione: 30KV)

Ingrandimento

10X ~ 200.000 MASSIMO (zoom supplementare 2X/4X/8X di Digital)

Fonte visiva di Inpection

Esposizione indotta elettrone (capelli Pin Type del tungsteno)

Corrente della sonda

1pA ~ massimo ~ 8uA

Bean Control

Spostamento del fascio: 250um, rotazione del fascio: 360°

Rivelatore del Se

Alto rivelatore del Se di sensibilità

Modo del segnale di immagine

Area (640X480), modo della foto di ispezione (960X640, 1024x768, 2048x1536) (2048x1536 ~ 8192x6144)

Posizionamento del pezzo in lavorazione

Supporto inclinato 0°~60° (90° massimo)

Colpo del movimento della fase di 5 assi

Inclinazione di X/Y/Z/=40/40/40mm: Opzione di 0~60° Rotation=360°: Motorizzazione della fase (asse-X/Y/R) 3

Sistema di vuoto

Calibro pieno di convezione della pompa a rotore modo di alimentazione manuale o (di automazione) & della pompa di Turbo (Pirani + rinchiudendo calibro)

Antivibrazione

Il tipo anti-vibratore della bombola ha incluso nel telaio. Aria o qualsiasi approvvigionamento di gas quale la linea del N2 richiesta al sito del laboratorio

Scaffale di controllo

Sistema operativo di esercizio ambientale del PC: Comunicazione di serie di Windows: interfaccia di dati di controllo

Sistema di visualizzazione

22" monitor LCD

Porto

Porto 3 (per EDX, WDX, ecc.). Porto sufficiente per tutti i rivelatore & Su-gradazione

Strumenti di GUI&

Pixel del commutatore del convertitore di modo di EBS (EBS, EDX, ecc.) che fa la media misura di ricerca ecc. della foto di ricerca (angolo, area, orizzontale. Funzione di misurazione semplice di verticale, di larghezza, dell'incrocio, della scatola) usando linea orizzontale, linea verticale, le linee diagonali, le scatole, angolo, area, annotazione ecc. (simbolo tali cerchio, scatole, linea, Arrowed, linea), compressione di immagine di rotazione di immagine & dello spostamento immagine (rotazione del quadro televisivo)/tipo di compressione: BMP, JPEG, dati compreso ingrandimento, distanza di funzionamento, chilovolt & Mark Bar. Esposizione di immagine dell'anteprima

Unità di elaborazione di immagine

La lunghezza/Min.dia/diametro/circolarità/eccentricità/esportazione massimi dati di Excel/dati del grafico all'archivio di Excel con la linea libera misura, utente di immagine originale dell'analisi del grano vario definisce l'immagine dei filtri che piastrella il contatore della particella di AOI (centro di interesse) (analisi della chiazza)

Controllo automatico

La luminosità automatica contrappone il catodo corrente di rotazione del quadro televisivo del fuoco del fuoco stigmator/ecc. del fascio automatico automatico a più fuochi & dinamico dell'emissione automatica (adeguamento del topo) facendo uso di tempo (tempo di vita)) Controllo del topo (trascinare o metodologia del rotolo)