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Soluzione tutta compresa di consegna del vapore

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Bronkhorst BV alta tecnologia, fornitore di tester di portata in peso e regolatori per i gas ed i liquidi, ha progettato una nuova serie di moduli di consegna del vapore. Questi sottosistemi compatti comprendono il regolatore liquido di flusso di a (thermal o Coriolis), uno o due regolatore di portata in peso per il gas inerte e un dispositivo a temperatura controllata di evaporazione e di mescolanza. I moduli sono forniti di esposizione e di pulsanti di 1.8 TFT per la lettura locale e controllano. I sistemi possono anche essere azionati via la comunicazione digitale (RS232 o FLOW-BUS). Facoltativamente, le unità possono essere fornite con un regolatore supplementare di portata in peso per diluzione e con il local o il controllo a distanza di temperatura di riscaldamento della traccia. Il compatto, la spina ed i moduli di lavoro possono generare i flussi (saturati) del vapore all'interno della gamma di sccm 100 fino allo SLM 10. La tecnologia mescolantesi di evaporazione controllata applicata (CEM) è adatta per i processi di vuoto o atmosferici ed è capace di evaporazione le miscele e perfino dei solidi, dissolto in solventi.

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I vaporizzatori di VDM-Serie sono adatti idealmente per i procedimenti di deposito e del rivestimento di vapore per la produzione dei circuiti integrati a semiconduttore, delle esposizioni e delle pile solari. I moduli possono anche essere applicati per la calibratura dei dispositivi analitici quali i cromatografi a gas e gli spettrometri di massa, per la consegna anestetica e per l'umidificazione delle pile a combustibile.