Pubblicata il 23/04/2016
nanopositioning piezoelettrico fase XSA - 0200C del DSM dispone di movimento di flessione - guidato su una gamma di viaggio di 200 micron per i processi di scansione , metrologia e di ispezione . progettazione cinematica stabile e rigida del palcoscenico promuove parallelismo nel movimento di uscita con passo minimo e imbardata nonché la reattività dinamica per un'eccellente stabilità e controllo della posizione.
• Open- Loop di viaggio : 200 micron ± 10 %
• Rigidità : 0.8N / micron ± 10 %
• Linearità : 0.12 % tipico
• Passo / Yaw : < 20 micro radianti tipico
• Scarico Freq risonanza: 420 Hz ± 10 %
• forza di bloccaggio : 160 N ± 10 %
• Capacità di spinta / forza di trazione : 40 N max
• capacità elettrica : 3,6 micro Farad ± 10 %
• Gamma Temperatura di esercizio : da -20...