Contatore di particelle laser cubico per il monitoraggio della pulizia dell'aria nelle camere bianche dei semiconduttori

Come difendere l'inquinamento da particolato nella camera bianca dei semiconduttori?

Secondo un recente World Fab Forecast pubblicato da Semiconductor Equipment Manufacturers International (SEMI), oltre il 50% delle perdite di resa dei semiconduttori può essere attribuito alla microcontaminazione. Per ridurre al minimo le perdite di rendimento, è essenziale che gli impianti di produzione di semiconduttori adottino strategie rigorose di controllo della contaminazione nelle camere bianche.

Il particolato è una delle principali fonti di microcontaminazione nei processi di produzione dei semiconduttori, che deve essere monitorato continuamente e rimosso tempestivamente.

Per aiutare gli impianti di produzione di semiconduttori a monitorare costantemente il particolato nelle camere bianche, Cubic ha fornito una soluzione, il contatore ottico di particelle online OPC-6510DS, che può essere applicato per il monitoraggio della pulizia dell'aria nelle camere bianche degli impianti di produzione di semiconduttori.

Il contatore ottico di particelle Cubic OPC-6510DS è stato sviluppato sulla base della tecnologia Laser Scattering ed è in grado di realizzare un rilevamento accurato di particelle di varie dimensioni in un volume unitario di aria. Grazie all'esclusivo modulo integrato del contatore di particelle laser, alla ventola a giri costanti e al sensore di flusso a ultrasuoni ben progettato, OPC-6510DS fornisce una portata stabile ed elevata di 28,3 l/min di campionamento del gas, che gli consente di essere conforme ai requisiti della norma ISO 14644-1. Cubic OPC-6510DS può produrre simultaneamente il numero di particelle di 5 canali >0,3μm, >0,5μm, >1,0μm, >5,0μm, >10μm in pz/28,3L o pz/m³ e supporta il funzionamento 24/7 per garantire un monitoraggio stabile e continuo delle particelle.

Oltre alle prestazioni e alle caratteristiche principali, per l'OPC-6510DS è stato sviluppato un touch screen per visualizzare i dati di monitoraggio continuo e i livelli della camera bianca in tempo reale. La funzione di allarme acustico e visivo è stata progettata per fornire un avviso tempestivo in loco.

Inoltre, Cubic OPC-6510DS è in grado di trasmettere online i dati di monitoraggio sulla base della comunicazione RS485 ModBus e MOTT, che può essere ulteriormente integrata nel sistema di filtrazione per mantenere l'inquinamento da particelle nell'ambiente della camera bianca entro un certo intervallo di bassa concentrazione.