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Contatore di particelle laser cubico per il monitoraggio della pulizia dell'aria nelle camere bianche dei semiconduttori

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Come difendere l'inquinamento da particolato nella camera bianca dei semiconduttori?

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Secondo un recente World Fab Forecast pubblicato da Semiconductor Equipment Manufacturers International (SEMI), oltre il 50% delle perdite di resa dei semiconduttori può essere attribuito alla microcontaminazione. Per ridurre al minimo le perdite di rendimento, è essenziale che gli impianti di produzione di semiconduttori adottino strategie rigorose di controllo della contaminazione nelle camere bianche.

Il particolato è una delle principali fonti di microcontaminazione nei processi di produzione dei semiconduttori, che deve essere monitorato continuamente e rimosso tempestivamente.

Per aiutare gli impianti di produzione di semiconduttori a monitorare costantemente il particolato nelle camere bianche, Cubic ha fornito una soluzione, il contatore ottico di particelle online OPC-6510DS, che può essere applicato per il monitoraggio della pulizia dell'aria nelle camere bianche degli impianti di produzione di semiconduttori.

Il contatore ottico di particelle Cubic OPC-6510DS è stato sviluppato sulla base della tecnologia Laser Scattering ed è in grado di realizzare un rilevamento accurato di particelle di varie dimensioni in un volume unitario di aria. Grazie all'esclusivo modulo integrato del contatore di particelle laser, alla ventola a giri costanti e al sensore di flusso a ultrasuoni ben progettato, OPC-6510DS fornisce una portata stabile ed elevata di 28,3 l/min di campionamento del gas, che gli consente di essere conforme ai requisiti della norma ISO 14644-1. Cubic OPC-6510DS può produrre simultaneamente il numero di particelle di 5 canali >0,3μm, >0,5μm, >1,0μm, >5,0μm, >10μm in pz/28,3L o pz/m³ e supporta il funzionamento 24/7 per garantire un monitoraggio stabile e continuo delle particelle.

Oltre alle prestazioni e alle caratteristiche principali, per l'OPC-6510DS è stato sviluppato un touch screen per visualizzare i dati di monitoraggio continuo e i livelli della camera bianca in tempo reale. La funzione di allarme acustico e visivo è stata progettata per fornire un avviso tempestivo in loco.

Inoltre, Cubic OPC-6510DS è in grado di trasmettere online i dati di monitoraggio sulla base della comunicazione RS485 ModBus e MOTT, che può essere ulteriormente integrata nel sistema di filtrazione per mantenere l'inquinamento da particelle nell'ambiente della camera bianca entro un certo intervallo di bassa concentrazione.