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NUOVO: pulsometro della membrana da EDWARDS

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Edwards ha avanzato i pulsometri a semiconduttore è stato field-proven effettuare al funzionamento i livelli più elevati. L'affidabilità ed il rendimento elevato sono realizzati prolungando il tempo di impiego, migliorando il uptime ed aumentando rendimento, mentre minimizzano l'orma ed il costo della proprietà.

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La serie del iH offre l'alta affidabilità per i processi difficili, quale PECVD e LPCVD, dove i sottoprodotti condensabili e corrosivi della particella, sono presenti.