Stadio XY+Rotativo compatto

Stadi XY compatti e di precisione

Stadi rotanti XY con motori lineari e motori a coppia diretta progettati a basso profilo per la movimentazione dei wafer e per molte altre applicazioni di posizionamento automatizzato e preciso nelle industrie di produzione dei semiconduttori. L'azionamento del motore lineare XY fornisce un posizionamento XY inferiore al micron e lo stadio rotante ad azionamento diretto assicura prestazioni inferiori al secondo.