Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment lancia le architetture di sistemi a gas integrati di nuova generazione

Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment lancia le architetture di sistemi a gas integrati di nuova generazione

SHANGHAI, CINA – Gli impianti di fabbricazione di microelettronica avanzata e le fabbriche di wafer di semiconduttori di nuova generazione richiedono precisione, sicurezza ed efficienza senza precedenti nella distribuzione dei gas di processo. Per far fronte a queste stringenti variabili della produzione moderna, Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) ha annunciato l'implementazione commerciale ufficiale dei suoi pannelli integrati per sistemi di gas di nuova generazione . Realizzati all'interno delle strutture specializzate in camera bianca dell'azienda nel distretto di Songjiang a Shanghai, questi impianti industriali si concentrano su blocchi di distribuzione del gas automatizzati a montaggio superficiale, progettati per ottimizzare la disposizione degli spazi interni, ridurre al minimo i profili di contaminazione da tracce e innalzare drasticamente gli standard di sicurezza per la distribuzione di sostanze chimiche all'interno delle zone di lavorazione dei wafer.


Collettori di commutazione semi-automatici in acciaio inossidabile ad alta purezza
Con la miniaturizzazione delle architetture di produzione di semiconduttori a nodi avanzati fino a livelli sub-nanometrici, i circuiti di processo diventano sempre più sensibili alle impurità microscopiche, alle fluttuazioni di pressione e ai ritardi nel transito dei fluidi. I tradizionali pannelli di distribuzione del gas, ricchi di componenti e basati su estese linee coassiali, saldature manuali e grandi regolatori di flusso di massa individuali, stanno rapidamente raggiungendo i limiti meccanici. Il passaggio a un sistema di gas integrato altamente ingegnerizzato rappresenta un cambiamento evolutivo cruciale per le fabbriche di wafer, i centri di ricerca e gli impianti fotovoltaici che mirano a massimizzare il tempo di attività delle apparecchiature riducendo al contempo lo spazio occupato dalle camere bianche.

L'architettura strutturale dell'avanzato sistema integrato per il gas di Shanghai Chengwei utilizza una configurazione modulare specializzata a montaggio superficiale. Anziché collegare valvole, regolatori e filtri tramite linee di distribuzione individuali, i componenti sono montati direttamente su blocchi di base in metallo ad alta purezza con canali interni per i fluidi. Questa progettazione specifica elimina le zone morte interne o i tratti morti in cui possono ristagnare tracce di gas speciali o umidità ambientale. Eliminando queste sacche di fluido, l'infrastruttura garantisce un rapido spurgo del gas, accelera i tempi di risposta durante le fasi di commutazione del gas e riduce significativamente il volume interno totale del circuito di distribuzione.

Realizzate all'interno della camera bianca di Classe 100 di 500 metri quadrati dell'azienda, in modo da eliminare i contaminanti ambientali, le strutture di base utilizzano acciaio inossidabile 316L VIM/VAR elettrolucidato di alta qualità. I ​​percorsi interni dei fluidi sono sottoposti a rigorosi trattamenti di passivazione chimica per ottenere una finitura interna ultra-liscia, prevenendo il distacco di microparticelle e contrastando la corrosione causata da gas speciali aggressivi e volatili come acido cloridrico, cloro e ammoniaca. Ogni blocco incorpora guarnizioni a membrana metallo-metallo ad alta resistenza, riducendo la velocità di perdita di elio fino alle soglie del vuoto ad altissima purezza.

La sicurezza operativa e la regolazione del flusso sono gestite da sistemi di controllo digitali integrati. Ogni blocco modulare si interfaccia direttamente con regolatori di flusso di massa avanzati, trasduttori di pressione e valvole di isolamento pneumatiche automatizzate. Questi circuiti digitalizzati comunicano tramite protocolli di rete industriale ad alta velocità, consentendo al controllore logico programmabile (PLC) principale dello stabilimento di monitorare in tempo reale la temperatura del gas, la pressione del fluido e le portate. Per processi chimici reattivi, infiammabili o piroforici, il sistema integrato per il gas è dotato di valvole di intercettazione di emergenza automatizzate e sensori di rilevamento perdite a funzionamento continuo, collegati direttamente ai sistemi locali di trattamento dei gas di scarico (scrubber a umido) installati nei sotto-impianti.

Grazie al consolidamento di complessi gruppi di valvole multiple in una griglia compatta e standardizzata, il sistema di distribuzione del gas integrato consente una riduzione fino al 60% dell'ingombro fisico rispetto ai pannelli di distribuzione del gas convenzionali. Questa drastica riduzione dell'ingombro permette ai tecnici di installare l'intera infrastruttura del gas più vicino al punto di utilizzo, minimizzando le perdite di carico a valle e garantendo la costanza della linea di alimentazione del fluido. Inoltre, la configurazione modulare semplifica la manutenzione in loco, consentendo ai tecnici di smontare e sostituire rapidamente i singoli moduli a montaggio superficiale senza dover smantellare le linee di processo adiacenti o causare lunghi tempi di fermo impianto.

L'implementazione di questi sistemi di gas integrati avanzati consente ai produttori di semiconduttori e agli ingegneri di processo di raggiungere la massima purezza dei fluidi, ridurre gli sprechi di sostanze chimiche grezze e stabilizzare le variabili di processo. Questo sviluppo tecnologico strategico soddisfa le rigorose linee guida internazionali in materia di conformità ambientale, minimizza il costo totale di proprietà e fornisce una base eccezionalmente sicura per la miniaturizzazione dei nodi, la deposizione di film sottili e i complessi processi di incisione al plasma in tutto il mondo.


Sistemi e componenti di controllo dei fluidi semiconduttori
Informazioni su Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd.:
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) è un'azienda specializzata in ingegneria e produzione, focalizzata su infrastrutture per la distribuzione di gas, prodotti chimici e sospensioni ad altissima purezza per l'industria dei semiconduttori e della produzione avanzata. Con sede nel distretto di Songjiang a Shanghai, l'azienda gestisce uno stabilimento di 4,000 metri quadrati, di cui 2,500 metri quadrati dedicati a un'area di produzione ultra-pulita e 500 metri quadrati a una camera bianca di Classe 100. CWSC fornisce sistemi di alta precisione per il trattamento dei substrati, la gestione della contaminazione e la regolazione della distribuzione di prodotti chimici all'interno degli impianti di fabbricazione di wafer a livello globale.

 

Contatti:
Giacomo Yuan
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd
N. 9, Lane 345, Minshen Road, Distretto di Songjiang, Shanghai, Cina
Telefono: + 86-13380377051
Internet: https://www.chengweisemi.com/