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Fase DSP 50 di Micropositioning con 1 ripetibilità di nanometro

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Questa fase micropositioning brandnew DSP 50 raggiunge un'esattezza posizionante di 1 nanometro nel funzionamento del ciclo chiuso sopra una gamma di corsa di 10 millimetri

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È guidata da 8 azionamenti inerziali di piezo che sono sfasamento controllato. Ciò gli offre sia un'uniformità molto alta della velocità anche alle velocità molto basse che le forze molto elevate di azionamento (fino a 15 N) nel funzionamento del ciclo chiuso ed aperto. Le dimensioni esterne del DSP 50 sono di 50 x 50 x 16 millimetri.