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Turbopump HiPace 2800 ESSO

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Con il HiPace 2800 vuoto di Pfeiffer presenta un turbopump dedicato particolarmente

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per le applicazioni di impianto di ione. Il disegno specializzato del rotore del turbopump

risultati in una velocità di pompaggio ottimizzata per i gas chiari. Ciò assicura molto buon

l'adattamento trattato per i processi di impianto di ione, era idrogeno è il la maggior parte

accumulazione del gas. Con velocità di pompaggio di 2.750 l/s per idrogeno il nuovo HiPace

2800 è il migliore turbopump nel relativo codice categoria.

Il sistema di gestione intelligente di temperatura impedice la condensazione ed il deposito trattati all'interno del sistema di pompaggio. Concede fissare la temperatura individualmente per sostenere idealmente il processo. Il rivestimento speciale del rotore assicura la robustezza contro tutti i materiali di processo di impianto di ione. Essendo basando su un cosiddetto cuscinetto ibrido, una combinazione di cuscinetti a sfera di ceramica sul lato di parte-vuoto e sui cuscinetti radiali permanentemente magnetici dal lato di alto vuoto, questi turbopumps di HiPace hanno un disegno particolarmente robusto del cuscinetto. Insieme al rivestimento efficiente, questo costituisce la base per il up-time del ciclo e di massimo di lunga vita delle pompe.