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Misura senza contatto dei circuiti integrati a semiconduttore: Linea più veloce sensori che misurano le strutture più molto piccole

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Per la superficie di un circuito integrato a semiconduttore (cialda) da misurare o analizzare, 3D-data deve essere raccolto di risoluzione sufficiente permettere l'esame delle strutture o delle geometrie dei circuiti sulla relativa superficie. Le odierne tecnologie del circuito integrato richiedono la risoluzione del nanoscale nel senso assiale ed alcuni micrometri nel senso laterale. Va da sè che le parti fragili non dovrebbero essere toccate durante la misura ed in modo da l'unica opzione è di misurare in un modo senza contatto. Spesso il delineamento a semiconduttore scende alla necessità di trasportare i dati ad alta densità 3D da una grande area che contiene le strutture più fini.

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Con la nuova gamma di Precitec Optronik´s della linea confocal cromatica sensori che 192 punti di misurazione profilano simultaneamente la superficie in 5.2x10-3 (1/200) del tempo necessario ha confrontato ai sensori convenzionali, che usano soltanto un punto di misurazione. La generazione corrente di linea sensori da Precitec Optronik funziona con 192 punti di misurazione, da cui misuri, secondo la sonda, in una linea

1 millimetro fino a 5 millimetri di lunghezza.

3D-Data nei limiti del tempo di scarsità

I dati da rivedere trasportati dal sensore possono essere procedati nel software per rilevare i modelli e le strutture periodici. Il più delle volte sono usate le viste codificate di altezza per rilevare i difetti osservando l'altezza, i raggi, i diametri e le lacune in strutture. I sistemi di Precitec´s stanno funzionando ad una frequenza aumentata oltre di un milione di punti al secondo. Quel la linea sensori è attualmente il senso più veloce di acquisto delle topografie tridimensionali a semiconduttore.