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Nanopositioners piezo-elettrico DI X-Y per le applicazioni estreme di precisione

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Le fasi nanopositioning piezo-elettriche di serie di Aerotech QNP-XY forniscono la risoluzione, le linearità, la ripetibilità e l'alta dinamica richiesta per le applicazioni più esigenti da microscopia all'allineamento di ottica

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Con risoluzione a 0.15 nanometri, la linearità a 0.007% e la ripetibilità a 2 il nanometro, precisione del nanometro-livello è rassicuranti. Con l'più alta dinamica (frequenza di risonanza e rigidezza) di qualunque altra fase paragonabile nel formato e nella corsa, gli utenti possono realizzare l'più alto rendimento nei processi impegnativi.

Varie corse (100? m. a 600? m), le opzioni di risposte e le versioni di vuoto aggiungono alla versatilità eccezionale di questa serie della fase.

Alta qualità in un pacchetto compatto

Le fasi piezo-elettriche di QNP sono guidate dalle flessioni di precisione che sono ottimizzate usando l'analisi di elemento limitato. Il disegno risultante offre la rigidezza eccezionale e la frequenza di risonanza (fino a 885 hertz) che permettono all'alto rendimento trattato e digiuna risposta a circuito chiuso. Ancora, il pacchetto DI X-Y integrato minimizza l'altezza di pila della fase e la massa commovente, con conseguente prestazione multiasse statica e dinamica superiore.

Ad alta definizione e posizionando esattezza

Tutte le risposte a circuito chiuso facoltative di offerta piezo-elettrica delle fasi di QNP usando un disegno capacitivo unico del sensore per la risoluzione di secondario-nanometro e le alte linearità. I sensori capacitivi misurano l'uscita del posizionamento del carrello direttamente, permettendo all'esattezza ed alla ripetibilità superiori.

Controllo di Ultra-Precisione

Quando accoppiato con Aerotech? i regolatori di Q-serie di s e gli azionamenti, fasi piezo-elettriche di QNP dimostrano il secondario-nanometro che posiziona la stabilità di in-posizione e di risoluzione (nervosismo) e alto-posizionante la larghezza di banda. Opzioni di software quale Aerotech? i pacchetti della cassetta portautensili di comandi dinamici di s e del progettista di movimento forniscono un ospite dell'avanzato di tuttavia gli attrezzi di facile impiego quali controllo di apprendimento, l'annullamento armonico e l'ordine che modella, fornendo gli errori di inseguimento migliori e più veloce punto-e-depositano i periodi.

Flessibilità di disegno

Aerotech? le fasi piezo-elettriche di s QNP sono disponibili con risposte del sensore di capacità o senza risposte (ad anello aperto). Ad anello aperto fornisce un'opzione redditizia per le applicazioni dove il formato compatto, la alto-dinamica e il secondario-nanometro che posiziona la risoluzione sono richiesti, ma l'esattezza e la ripetibilità di posizionamento assolute non sono richieste. I disegni ad anello aperto possono anche essere usati dove la posizione piezo-elettrica è controllata via una fonte esterna di risposte (interferometro, sistema di visione, rivelatore fotoelettrico, ecc.).

Sommario del prodotto:

La corsa varia da 100? m. a 600? m.

Sistema di guida di alta precisione e frictionless di flessione

Posizionando risoluzione su 0.15 nanometri, sulle linearità su 0.007% e sulla ripetibilità su 2 nanometro

Versioni di vuoto ed ad anello aperto