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Macchine ed evaporazione sottovuoto PVD e Macchine

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Metallizzazione ad evaporazione termica

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Cos'è l'evaporazione sotto vuoto

L'evaporazione sottovuoto è un processo PVD in cui il materiale proveniente da una fonte di vaporizzazione termica raggiunge i

substrato senza collisione con le molecole di gas nello spazio tra la sorgente e il substrato. La traiettoria

della "Linea di vista" del materiale vaporizzato L'ambiente sotto vuoto fornisce anche la capacità di ridurre la contaminazione gassosa nel film depositato.

Vantaggi dell'evaporazione sotto vuoto

1. I film di elevata purezza possono essere depositati da materiale di partenza di elevata purezza.

2. La fonte del materiale da depositare può essere un solido in qualsiasi forma e purezza.

3. La traiettoria della linea visiva e le "sorgenti ad area limitata" consentono l'uso di maschere per definire le aree di deposizione.

4. Il monitoraggio e il controllo delle deposizioni sono relativamente semplici.

5. Probabilmente è il meno esteso dei processi PVD.

Svantaggi dell'evaporazione sotto vuoto

1. Molte composizioni di leghe e composti possono essere depositati solo con difficoltà.

2. La linea di vista e le sorgenti a superficie limitata provocano una scarsa copertura superficiale su superfici complesse senza un adeguato fissaggio e movimento del substrato.

3. Le traiettorie a vista e le sorgenti a superficie limitata determinano una scarsa uniformità dello spessore del film su ampie superfici.

Le proprietà del film dipendono dall'"angolo di incidenza" del flusso del materiale di deposito.

4. Il fissaggio del supporto con capacità di movimento è necessario per migliorare la copertura superficiale e l'uniformità dello spessore.

5. Sono disponibili poche variabili di elaborazione per il controllo delle proprietà della pellicola.

6. L'utilizzo del materiale di partenza può essere scarso.

7. Nel sistema di deposizione possono essere presenti elevati carichi termici radianti.

Applicazioni di evaporazione sotto vuoto

L'evaporazione sottovuoto è utilizzata in forma di rivestimenti di interferenza ottica, rivestimenti a specchio, rivestimenti decorativi, film barriera di permeazione su materiali da imballaggio flessibili, film elettricamente conduttivi e rivestimenti anticorrosione.

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