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Tecnologia di deposizione per polverizzazione catodica Magnetron Sputtering Deposition

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PVD sputtering deposizione sputtering

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Cos'è la Deposizione Sputtering Sottovuoto Sputtering Deposition

1. La deposizione per polverizzazione catodica è la deposizione di particelle vaporizzate da una superficie, che viene chiamata "bersaglio per polverizzazione catodica" dal processo fisico di polverizzazione catodica.

2. Lo sputtering fisico è un processo di vaporizzazione non termica in cui gli atomi di superficie sono fisicamente espulsi per trasferimento di quantità di moto da una particella energetica di bombardamento, che di solito è uno ione gassoso accelerato da un plasma.

3. La deposizione per polverizzazione catodica può essere preformata in un gas sotto vuoto o a bassa pressione (< 5 m Torr ) dove le particelle polverizzate non subiscono collisioni di fase gassosa nello spazio tra il bersaglio e il substrato o in una pressione gassosa superiore (5 - 30 m Torr) dove le particelle energetiche polverizzate o riflesse dal bersaglio sono "termizzate" da collisioni di fase gassosa prima di raggiungere la superficie del substrato.

Vantaggi della deposizione dello Sputter Deposition

1. Elementi, leghe e composti possono essere spruzzati e depositati.

2. Il bersaglio sputtering fornisce una fonte di vaporizzazione stabile e di lunga durata.

3. In alcune configurazioni il bersaglio sputtering fornisce una fonte di vaporizzazione di ampia area che può essere di qualsiasi forma.

4. In alcune configurazioni la sorgente di sputtering può essere una forma definita, come una linea o un segmento di un cono.

5. In alcune configurazioni la deposizione reattiva può essere facilmente realizzata utilizzando specie gassose reattive "attivate" in un plasma ("deposizione reattiva per polverizzazione catodica")

Svantaggi della deposizione dello Sputter Deposition

1. I tassi di sputtering sono bassi rispetto a quelli ottenibili con l'evaporazione termica.

2. Le proprietà del film dipendono dall'"angolo di incidenza" del flusso del materiale che deposita e, a basse pressioni, dalla quantità di bombardamento di neutri ad alta energia riflessa dal bersaglio che si riflette dall'obiettivo di sputtering.

3. In molte configurazioni la distribuzione del flusso di deposizione non è uniforme, richiedendo un fissaggio per randomizzare la posizione dei substrati al fine di ottenere film di spessore e proprietà uniformi.

4. I bersagli sputtering sono spesso costosi e l'utilizzo del materiale può essere scarso.

5. In alcune configurazioni la contaminazione gassosa non viene facilmente rimossa dal sistema e le contaminazioni gassose vengono "attivate" nel plasma, rendendo così la contaminazione del film più un problema che nell'evaporazione sotto vuoto.

6. In alcune configurazioni la radiazione e il bombardamento dal plasma o l'obiettivo sputtering può degradare il substrato.

7. La deposizione di Sputter è ampiamente usata per depositare la metallizzazione a film sottile su materiale semiconduttore, rivestimenti su vetro architettonico, rivestimenti riflettenti su compact disc, film magnetici, lubrificanti a film secco e rivestimenti decorativi.

Metodi di Sputtering

Sputtering DC Sputtering / MFSputtering

Sputtering dell'equilibrio/sputtering sbilanciato

Sistema di Sputtering Coating System

Batch coaters e sistema di sputtering coating in linea per rivestimenti con film Low-E, ITO su vetro, film PET, ecc.

Royal Technology fornisce il sistema di sputtering batch, il sistema di metallizzazione roll to roll sputtering, sputtering In-line system on glass ecc. Vi preghiamo di contattarci con la vostra richiesta.