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SONOTEC presenta la serie di misuratori di portata compatti per applicazioni nei semiconduttori alla conferenza ICPT

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Dal 15 al 18 ottobre 2024 si terrà a Wiesbaden, in Germania, la 19a Conferenza Internazionale sulla Tecnologia di Planarizzazione/CMP. SONOTEC presenta la serie di sensori compatti SEMIFLOW® progettati per la misurazione del flusso di liquidi senza contatto.

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Per la prima volta SONOTEC partecipa alla Conferenza Internazionale sulla Tecnologia di Planarizzazione/CMP (ICPT) di Wiesbaden, in Germania. In qualità di sponsor dell'evento, lo specialista degli ultrasuoni presenta i suoi misuratori di portata compatti e i suoi rilevatori di bolle d'aria allo stand 25 ai professionisti dei semiconduttori presenti.

Incentrata sulla planarizzazione/ lucidatura chimico-meccanica (CMP), la conferenza offre eccellenti opportunità di discussione su tecnologie, fondamenti della CMP, processi di lucidatura, materiali di consumo, attrezzature, nonché attrezzature ecologiche e nuove applicazioni, metrologia, pulizia, controllo dei difetti, controllo dei processi e molto altro ancora. La conferenza è l'evento perfetto per ricercatori e ingegneri per incontrarsi, discutere e condividere esperienze nel loro campo di conoscenza.

Per misurare e monitorare in modo efficiente il trasferimento e l'erogazione di sostanze chimiche e altri liquidi all'interno di una fabbrica, SONOTEC ha sviluppato la serie di misuratori di portata SEMIFLOW, compatta e robusta, che soddisfa i requisiti speciali del mercato dei semiconduttori. Questa serie di sensori all'avanguardia può essere utilizzata, ad esempio, per misurare l'erogazione di slurry nei processi CMP e per monitorare il volume di riempimento dei processi di etching nelle linee di wet bench. Il leader del settore nella tecnologia di misurazione a ultrasuoni senza contatto presenterà alla conferenza la sua ampia gamma di sensori di flusso senza contatto precisi e affidabili e di rilevatori di bolle d'aria.

"I dati dei sensori in tempo reale possono essere utilizzati per migliorare l'efficienza del processo, l'affidabilità e la qualità del prodotto, portando in ultima analisi a migliori risultati di produzione e a risparmi sui costi. Ad esempio, il monitoraggio in tempo reale di parametri di processo critici come la portata consente di mantenere la stabilità del processo e la qualità del prodotto. Inoltre, i modelli di dati dei sensori possono rilevare i primi segnali di degrado o malfunzionamento delle apparecchiature, consentendo interventi di manutenzione proattivi per evitare costosi tempi di inattività e scarti di produzione", spiega Anika Baumhauer, International Strategy and Sales Manager di SONOTEC.

I sensori di flusso SEMIFLOW misurano in modo affidabile liquidi abrasivi, aderenti, corrosivi e ultrapuri su tubi di plastica rigida e tubi specifici del settore. L'architettura clamp-on contact-free elimina qualsiasi rischio di contaminazione e perdita. I sensori a ultrasuoni sono quindi adatti ai processi di produzione di semiconduttori altamente sensibili che richiedono la massima precisione e stabilità di processo. Inoltre, il metodo di misura senza contatto non causa alcuna usura del sensore; i sensori a ultrasuoni clamp-on non richiedono manutenzione.

Il materiale robusto dei sensori consente un lungo ciclo di vita del prodotto e il loro consumo energetico minimo garantisce bassi costi operativi. In questo modo, i misuratori di portata senza contatto possono contribuire alle strategie di sostenibilità nelle fabbriche. I sensori SEMIFLOW si distinguono anche per il design compatto della custodia con elettronica integrata. Richiedono poco spazio nell'impianto e possono essere facilmente integrati nelle catene e nelle architetture di processo esistenti. SONOTEC offre la serie SEMIFLOW in diverse dimensioni per coprire un'ampia gamma di diametri di tubi in PFA, PTFE e altre plastiche dure.

Per misurare le portate in ambienti pericolosi, SONOTEC offre la serie di sensori SEMIFLOW CO.66 PI Ex1. I misuratori di portata a ultrasuoni a sicurezza intrinseca sono progettati per funzionare in sicurezza nelle aree di produzione classificate come Zona 1 secondo ATEX/IECEx. I sensori sono protetti contro i rischi di esplosione causati da gas e vapori secondo gli standard del gruppo di gas IIB; il livello di protezione delle apparecchiature (EPL) è "Gb".

Incontrate SONOTEC all'ICPT di Wiesbaden, Germania, dal 15 al 18 ottobre 2024, presso lo stand n. 25.