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Misurazione del vuoto nelle camere di compensazione

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Un unico sensore per l'intero ciclo

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I loadlock utilizzati nella produzione di semiconduttori richiedono in genere l’impiego di più sensori di pressione, con conseguenti difficoltà di integrazione, rischio di contaminazione e complessità superflua. Il trasduttore di vuoto VSL li sostituisce con un unico dispositivo, coprendo l’intero intervallo di misura da 1200 a 10⁻⁴ mbar.

Meno componenti. Meno rischi. Maggiore affidabilità di processo.
Nella produzione di semiconduttori, ogni particella conta, così come ogni secondo del processo. Le camere di carico rappresentano un collo di bottiglia critico: consentono il trasferimento controllato tra ambienti a pressione atmosferica e sotto vuoto, proteggendo al contempo le camere di processo dalla contaminazione e mantenendo efficienti i tempi di ciclo.

La realtà in molti sistemi:
Sensori multipli per diversi intervalli di pressione, elevato sforzo di integrazione e coordinamento complesso dei processi.
Esiste un modo più semplice.

Il trasduttore di vuoto VSL riduce questa complessità a un unico dispositivo.
Combinando due sensori a diaframma piezoresistivi con un sensore Pirani, il VSL copre un campo di misura compreso tra 1200 e 10⁻⁴ mbar (assoluto) e tra -1060 e +340 mbar (rispetto all’atmosfera).
Durante le fasi di pompaggio e sfiato, i sensori piezoelettrici forniscono misurazioni veloci (40 ms), indipendenti dal gas e precise (0,3% del fondo scala). Nell’intervallo di bassa pressione, il sensore Pirani garantisce condizioni di trasferimento stabili e riproducibili verso la camera di processo.

Meno complessità, minor rischio di contaminazione
Il design completamente sigillato con metalli elimina la necessità di un sensore di pressione relativa con guarnizione in elastomero. La pressione differenziale viene invece calcolata dalla pressione della camera e da quella ambiente, garantendo la massima tenuta all’elio e un affidabile azionamento dell’apertura dello sportello al momento della equalizzazione della pressione.
La compensazione termica individuale di ciascun sensore garantisce un’eccellente stabilità a lungo termine e un’elevata riproducibilità.
Il risultato: massima stabilità di processo, senza compromessi.

Integrazione rapida, utilizzo flessibile
Grazie a interfacce quali RS485, EtherCAT e PROFINET, il VSL si integra perfettamente nei sistemi esistenti. Due punti di commutazione a relè liberamente configurabili possono essere assegnati a qualsiasi funzione del sensore, come il rilevamento della compensazione di pressione tra la camera di carico e l’ambiente.

Un display LCD retroilluminato opzionale consente la lettura diretta della pressione nel punto di misura.