Misurazione della resistività dei semiconduttori con il metodo a quattro sonde del misuratore di sorgente

Schema

La resistività è un parametro importante che determina le proprietà elettriche dei materiali semiconduttori. Per caratterizzare la qualità del processo e il drogaggio dei materiali, è necessario testare la resistività dei materiali. Esistono molti metodi per testare la resistività dei materiali semiconduttori, tra i quali il metodo a quattro sonde ha le caratteristiche di semplicità dell'apparecchiatura, convenienza operativa, elevata precisione di misura e assenza di requisiti rigorosi sulla forma del campione. Pertanto, attualmente, il metodo a quattro sonde è più comunemente utilizzato per rilevare la resistività dei materiali semiconduttori, soprattutto per i campioni di film sottile.

Principio del test a quattro sonde

La tecnica a quattro sonde richiede l'uso di quattro sonde equidistanti per contattare la superficie del materiale. Mentre si eroga corrente tra le due sonde esterne, si misura la differenza di tensione tra le due sonde centrali. La resistività viene calcolata in base ai parametri geometrici del campione, alla sorgente di corrente in uscita e al valore di tensione misurato.

Il misuratore di sorgente digitale PRECISES può misurare la resistenza con il metodo a quattro fili? Requisiti del cavo?

① Sì, è possibile utilizzare la modalità di misurazione a quattro fili;

② Il test a quattro sonde utilizza generalmente una corrente costante per misurare la tensione e la corrente applicata è generalmente al livello di mA, quindi non è necessario il cavo