Parti in ceramica di allumina come macchine per fotolitografia nell'industria dei semiconduttori

Parti in ceramica di allumina utilizzate nelle macchine per fotolitografia

I componenti in ceramica di allumina sono utilizzati per parti rotanti in macchine fotolitografiche e in uno stato di vuoto. Ciò richiede una precisione di lavorazione estremamente elevata e il runout del cerchio interno deve essere compreso entro 2 micron.

Le ceramiche fini sono diventate componenti chiave delle apparecchiature per semiconduttori. Soprattutto nelle macchine litografiche di fascia alta, per ottenere un'elevata precisione di processo, è necessario utilizzare ampiamente componenti ceramici con un buon composito funzionale, stabilità strutturale, stabilità termica ed elevata precisione dimensionale, come ad esempio l'E-chuck, il Vacumm-chuck, il blocco, lo scheletro in acciaio magnetico raffreddato ad acqua, il riflettore, la guida, ecc.