Componenti in nitruro di boro per MOCVD

Parti in ceramica al nitruro di boro

Il nitruro di boro esagonale pressato a caldo viene spesso definito "grafite bianca" poiché ha una struttura a strati simile alla grafite. Ha eccezionali caratteristiche termiche: elevata conducibilità termica ed eccellente resistenza agli shock termici. È stabile fino a 2000 °C in atmosfere riducenti e fino a 900 °C in atmosfere ossidanti. Ha caratteristiche come alta lavorabilità, bassa espansione termica, trasparenza alle microonde ed elevata resistenza all'umidità a metalli fusi, scorie e vetro. Le parti in ceramica al nitruro di boro sono ampiamente utilizzate come sistema PVD, MOCVD, MBE, componenti per forni, crogioli di fusione, isolanti, rondelle, ugelli, tubi a microonde, dissipatore di calore e schermatura contro le radiazioni termiche.

Un reattore MOCVD è una camera realizzata con un materiale che non reagisce con le sostanze chimiche utilizzate. Deve anche resistere alle alte temperature. Questa camera è composta da pareti del reattore, un rivestimento, un suscettore, unità di iniezione del gas e unità di controllo della temperatura.

Nel reattore MOCVD, il substrato è sostenuto da un piedistallo, che funge anche da suscettore. Il piedistallo/suscettore è l'origine primaria dell'energia termica nella camera di reazione. Solo il suscettore viene riscaldato, quindi i gas non reagiscono prima di raggiungere la superficie calda del wafer. Le pareti della camera di reazione in un reattore a pareti fredde, tuttavia, possono essere riscaldate indirettamente dal calore irradiato dal piedistallo/suscettore caldo, ma rimarranno più fredde del piedistallo/suscettore e del substrato supportato dal piedistallo/suscettore. Quindi il nitruro di boro è una buona scelta perché la densità di potenza, la temperatura di esercizio, il grado di isolamento e la rigidità dielettrica degli elementi riscaldanti possono essere notevolmente migliorati utilizzando il nitruro di boro come isolante. È anche più economico e riduce l'inerzia termica. La forma anulare riduce le dimensioni del sistema di riscaldamento e migliora il trasferimento di calore.