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Vantaggi delle ceramiche utilizzate negli implanter ionici

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Vantaggi delle ceramiche utilizzate negli implanter ionici

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In quanto apparecchiatura avanzata per la produzione di semiconduttori, gli implanter ionici hanno requisiti molto elevati per quanto riguarda le prestazioni dei materiali.

In quanto componente importante, gli accessori in ceramica svolgono un ruolo fondamentale negli impianti di impiantazione ionica.

A. Caratteristiche di base degli accessori per implanter ionici e degli accessori in ceramica

Gli accessori degli implanter ionici sono realizzati principalmente in nitruro di silicio di elevata purezza, carburo di silicio (SiC), allumina, ceramica microporosa di allumina/carburo di silicio, nitruro di alluminio (AIN), zaffiro e altri materiali ceramici, con le seguenti caratteristiche:

1. Elevata durezza e resistenza: I raccordi in ceramica hanno un'elevata durezza e resistenza, in grado di sopportare carichi elevati e usura durante l'impianto ionico.

2. Elevata stabilità termica: I raccordi in ceramica hanno un elevato punto di fusione e possono mantenere prestazioni stabili in ambienti ad alta temperatura.