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Substrati in nitruro di alluminio lappati e lucidati

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Foglio ceramico in nitruro di alluminio

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INNOVACERA fornisce substrati in nitruro di alluminio (AlN) levigati, lappati e lucidati per circuiti a film sottile, supporti per diodi laser, fotonica e metallizzazione di precisione. La conduttività termica dei nostri prodotti è pari a 170, 200 e 230 W/m·K, con dimensioni dei pezzi grezzi fino a 138 × 190 mm. Per le applicazioni che richiedono una superficie fine, è disponibile la lucidatura di precisione fino a Ra ≤ 0,05 μm, con possibilità di personalizzazione di dimensioni, spessore e asole.

La finitura superficiale del substrato AlN può essere selezionata in base al processo a valle. INNOVACERA offre rettifica, lappatura fine, lucidatura e lucidatura di precisione, insieme a spessori, dimensioni e caratteristiche di lavorazione personalizzate per le diverse esigenze applicative.

Planarità, deformazione e TTV
La planarità e il TTV sono specificati in base alle dimensioni del substrato, allo spessore e al metodo di misurazione. Per applicazioni di precisione, i requisiti possono essere valutati in base al disegno del cliente e all’area di ispezione definita. Su configurazioni di produzione specificate è disponibile una deformazione inferiore allo 0,3%.

Rugosità superficiale
La molatura presenta un valore Ra compreso tra 0,3 e 0,6 μm. La lappatura fine, tra 0,1 e 0,4. La lucidatura scende al di sotto di 0,10, mentre la lucidatura di precisione arriva a 0,05 e inferiori. Un substrato che deve solo dissipare il calore può essere trattato solo con la molatura. La rettifica di un submount LD o di un circuito a film sottile non è sufficiente, poiché la fase successiva – che si tratti di deposizione, litografia o die attach – richiede più di una semplice superficie liscia. I substrati in AlN per la lavorazione a film sottile, il DPC e la metallizzazione di precisione richiedono generalmente una superficie lappata o lucidata prima della successiva lavorazione da parte del cliente.

Ispezione
L’ispezione può includere dimensioni, spessore, rugosità, deformazione, planarità e qualità dei bordi. La densità, la conduttività termica e altre proprietà dei materiali possono essere verificate in base ai requisiti del progetto. I rapporti di ispezione sono disponibili per i programmi di produzione quando richiesto.