Riscaldatore a piastre in nitruro di boro pirolitico/PBN

Riscaldatore a piastre PBN

Il CVD è una tecnologia versatile che può permettere che molte figure indipendenti differenti siano fabbricate, così come i rivestimenti su vari materiali differenti del substrato.

I prodotti di PBN sono ben adattati per uso nell'epitassia del fascio di Moleculaar (MBE), di deposizione chimica in fase di vapore organico del metallo (MOCVD), nello sviluppo di cristallo ed in altre applicazioni, dove la stabilità del prodotto chimico e di elevata purezza è richiesta. La conducibilità anisotropa di PBN migliora la prestazione trattata per sviluppo di cristallo, se il metodo di sviluppo è Czochralski incapsulato liquido (LEC) o gelata verticale di pendenza (VGF).

Gli elementi piani e tubolari del riscaldatore possono essere prodotti depositando uno strato di conduzione della grafite pirolitica (PAGINA) su un substrato d'isolamento di PBN. Una pista può allora essere lavorata nello strato della PAGINA che può allora essere protetto da uno strato del soprabito di PBN. Questi riscaldatori hanno una risposta molto veloce e un Massachusetts basso del thermal. Sono adatti idealmente per uso nel vuoto ultra alto, o gli ambienti chimici corrosivi.

Le proprietà di PBN, la relativa purezza intrinseca, la resistenza meccanica superiore e la stabilità termica gli operano una scelta superba per la fornace a temperatura elevata e componenti elettriche, componenti a semiconduttore e di microonda e crogioli stadardized l'industria per produzione del cristallo dell'arsenuro di gallio.