#Tendenze
Deposizione di film sottili: controllare il gas reattivo linea per linea
Controllare ogni linea a monte mostra e ferma la deriva che un manometro di camera non vede.
Nella deposizione reattiva, un manometro di camera legge solo la pressione totale: non mostra che una linea di gas reattivo a bassa portata è andata in deriva, e la composizione del film cambia senza che lo si veda. Controllare ogni linea a monte risolve il problema: regolatori di portata massica a pressione differenziale laminare gestiscono la linea di lavoro ad argon o elio e la linea reattiva a ossigeno, azoto o idrocarburi, con una ripetibilità di ±(0,1% della lettura + 0,02% del fondo scala), risposta di regolazione da 30 ms e un campo di regolazione di 10.000:1. Ognuno fornisce portata massica, volumetrica, pressione assoluta e temperatura, e da 98 a 130 tarature di gas si selezionano sul campo. A pressioni di processo più alte, un regolatore di pressione tra camera e pompa mantiene la contropressione fino a pochi Torr.
