200 Micron Verticale Nanopositioning Stage DSM

nanopositioning piezoelettrico fase XSA - 0200C del DSM dispone di movimento di flessione - guidato su una gamma di viaggio di 200 micron per i processi di scansione , metrologia e di ispezione . progettazione cinematica stabile e rigida del palcoscenico promuove parallelismo nel movimento di uscita con passo minimo e imbardata nonché la reattività dinamica per un'eccellente stabilità e controllo della posizione.

• Open- Loop di viaggio : 200 micron ± 10 %

• Rigidità : 0.8N / micron ± 10 %

• Linearità : 0.12 % tipico

• Passo / Yaw : < 20 micro radianti tipico

• Scarico Freq risonanza: 420 Hz ± 10 %

• forza di bloccaggio : 160 N ± 10 %

• Capacità di spinta / forza di trazione : 40 N max

• capacità elettrica : 3,6 micro Farad ± 10 %

• Gamma Temperatura di esercizio : da -20 a 80 gradi Celsius

• Tensione di funzionamento : da -30 a 150 V

• Dimensioni: 60 x 60 x 12,5 mm

• Massa : 0,31 kg ± 10 %

• Materiale: acciaio inox

• Lunghezza cavo : fili volanti ( Opzioni disponibili )