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Z3TM : nuovo modulo combinato

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La Z3TM amplia il portafoglio di moduli al servizio delle piattaforme di movimento

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Questo modulo aggiunge quattro gradi di libertà indipendenti, ovvero lungo un asse rotante, uno verticale e due assi obliqui. Per progettazione, questo modulo opzionale consente la realizzazione completa dei profili di movimento dei wafer per applicazioni avanzate a semiconduttori, fornendo così agli OEM una soluzione chiavi in mano per qualsiasi tecnologia a semiconduttori.