{{{sourceTextContent.title}}}

3-in-1 per i loadlocks (VSL)

{{{sourceTextContent.subTitle}}}

Nuovo vacuometro digitale nella gamma dello Smartline di Thyracont

{{{sourceTextContent.description}}}

Gli strumenti di vuoto di Thyracont complementa la famiglia di prodotto ben-provata di Smartline con un nuovo trasduttore digitale di vuoto. Sviluppato particolarmente ai fini del vuoto di misurazione nei loadlocks, il vacuometro è fatto per fornire gli stati ottimali di scarico e di trasferimento della serratura del carico, per minimizzare i tempi di ciclo trattati e per impedire la contaminazione.

Il nuovo trasduttore VSL di vuoto misura la pressione assoluta nell'ordine di 1200….1e-4 mbar come pure pressione relativa relativamente all'ambiente nell'ordine di -1260… +940 mbar. La testa del calibro sigillata metallo usa la multi tecnologia dei sensori che combina due sensori piezo-elettrici con un Pirani. Gli utenti usufruiscono così da una soluzione affidabile, dello spazio e di risparmio di costi. Questo calibro è progettato in particolare per le sfide in questione nelle applicazioni della serratura del carico e facili integrare nel sistema di controllo della pianta.

Il trasduttore di vuoto di VSL include due sensori piezo-elettrico-resistenti del diaframma per controllare la camera durante il processo dello sfiato-su e della pompa-giù. Con il suo tempo di reazione veloce di spettrografia di massa 40, di accuratezza eccezionale (0,3% dall'estremità della scala) e del tipo di gas misura indipendente a pressione dell'atmosfera, il calibro è adatto idealmente per le applicazioni della serratura del carico.

Contrariamente alla prevalenza nel mercato, Thyracont non ha usato un sensore elastomero-sigillato per la misura di pressione relativa. Invece, il segnale di pressione differenziale è calcolato dall'interno di pressione assoluta della camera e della pressione ambiente per garantire la tenuta dell'elio della messa a punto metallo-sigillata del sensore.

Un sensore di Pirani con un campo di misura fino a 1e-4 mbar assicura la purezza ottimale del processo controllando il trasferimento a bassa pressione fra la serratura del carico e la camera trattata.

Stabilità a lungo termine eccellente, ripetibilità eccezionale e la singola compensazione di temperatura di ogni sensore fornire sicurezza trattata supplementare.

Il VSL può adattarsi ai requisiti di rispettiva applicazione ed essere configurato da grazie dell'utente egli stesso alla scelta delle interfacce differenti (RS485, EtherCAT e Profinet). Due insieme-punti indipendenti del relè possono essere assegnati a c'è ne delle funzioni del sensore, per esempio raggiungendo l'equalizzazione di pressione fra la camera e l'ambiente. La grande esposizione LCD retroilluminata, che è facoltativamente disponibile, mostra i valori di pressione direttamente al loadlock.