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Ceramica al nitruro di boro (BN) Parti per camere al plasma

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Ceramica al nitruro di boro (BN) Parti per camere al plasma

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Il nitruro di boro viene spesso definito "grafite bianca", poiché presenta una struttura a strati simile a quella della grafite. Presenta eccellenti proprietà di resistenza alle alte temperature, tra cui un'elevata rigidità dielettrica, conduttività termica ed eccellente inerzia chimica, in grado di risolvere le sfide di alcuni dei campi di applicazione più esigenti.

Le ceramiche di nitruro di boro (BN) sono uniche negli ambienti di plasma per la loro resistenza allo sputtering e la bassa propensione a generare ioni secondari, anche in presenza di forti campi elettromagnetici. La resistenza allo sputtering contribuisce a prolungare la vita dei componenti, mentre la bassa generazione di ioni secondari contribuisce a mantenere l'integrità dell'ambiente del plasma. Per questo motivo, le ceramiche di nitruro di boro (BN) sono ampiamente utilizzate per confinare l'arco di plasma nella camera di sputtering al materiale target e prevenire l'erosione dei componenti integrali nella camera di processo.