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Park Systems presenta la spettroscopia a infrarossi Park NX-IR R300 per l'industria dei semiconduttori
Park NX-IR R300, un sistema di spettroscopia a infrarossi (IR) su scala nanometrica per applicazioni industriali.
Park Systems, produttore leader di sistemi di microscopia a forza atomica (AFM) e nano metrologia, ha presentato il suo ultimo prodotto, Park NX-IR R300, un sistema di spettroscopia a infrarossi (IR) su scala nanometrica per applicazioni industriali.
Park NX-IR R300 è una spettroscopia a infrarossi e un microscopio a forza atomica integrati in uno, per wafer semiconduttori fino a 300 mm. Fornisce informazioni sulle proprietà chimiche, nonché dati meccanici e topografici per la ricerca sui semiconduttori, l'analisi dei guasti e la caratterizzazione dei difetti con un'elevata risoluzione nanometrica senza precedenti.
Park NX-IR R300 combina la spettroscopia IR più avanzata della microscopia a forza fotoindotta (PIFM) sulla piattaforma AFM Park NX20 da 300 mm leader del settore. La spettroscopia PIFM fornisce l'identificazione chimica con una risoluzione spaziale di 10 nm. Utilizza una tecnica senza contatto che offre sondaggi spettroscopici senza danni, massima risoluzione e accuratezza durante le scansioni. Inoltre, il Park PIFM fornisce all'utente informazioni spettroscopiche a diverse profondità, offrendo preziose informazioni sulla composizione del campione.
"Il Park NX-IR R300 è un importante progresso nel nostro portafoglio di soluzioni di nano metrologia", ha affermato il Dr. Sang-il Park, CEO di Park Systems. "Rappresenta la nostra continua espansione in nuove aree di innovazione per gli strumenti di microscopia nanometrica per ingegneri e scienziati nell'industria e nei laboratori di ricerca. Siamo fiduciosi che Park NX-IR R300 diventerà uno strumento essenziale per i clienti industriali che hanno bisogno di analizzare la composizione chimica di i loro materiali al più alto livello di accuratezza."
Per ulteriori informazioni su Park NX-IR R300, visitare https://www.parksystems.com/products/industrial/infrared-spectroscopy/park-nx-irita