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Park Systems annuncia Park NX-Mask, una riparazione di fotomaschere per EUV e In-Line

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Sistema di riparazione delle fotomaschere per la riparazione di maschere EUV di alto livello

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Park Systems, leader mondiale nella produzione di microscopi a forza atomica, ha annunciato Park NX-Mask, l'apparecchiatura di riparazione delle fotomaschere di nuova generazione più efficace, sicura ed efficiente.

Park NX-Mask offre soluzioni ottimizzate che supportano le doppie capsule per la gestione delle maschere EUV nella produzione in linea. Fornisce una soluzione completa, dall'esame automatico dei difetti alla riparazione dei difetti e alla verifica della riparazione, accelerando la produttività con un'efficacia di riparazione senza precedenti

"Park NX-Mask è il più avanzato sistema di riparazione di fotomaschere basato su AFM per la produzione di semiconduttori EUV di fascia alta, nonché per la R&S e i negozi di maschere. Inoltre, è il sistema più conveniente sul mercato", ha dichiarato Richard Lee, responsabile della divisione marketing dei prodotti di Park Systems.

Park NX-Mask ripara anche le fotomaschere più difficili, rimuovendo i difetti e le particelle estranee con un'accuratezza nanometrica e una precisione di livello angstrom nel posizionamento dei bordi. Ciò avviene senza disturbare il modello di superficie riflettente e i depositi spuri, comprese le macchie e gli elementi impiantati.

La revisione automatica dei difetti è di serie in Park NX-Mask, una funzione utile per i reticoli delle maschere EUV, per un'elevata produttività, un'alta risoluzione e l'assenza di rischi distruttivi posti da altri metodi, tra cui e-beam e laser. Inoltre, Park NX-Mask offre una nano-metrologia AFM completamente automatizzata per la rugosità della superficie e l'altezza del passo del modello. Il tutto con una precisione verticale sub-angstrom in modalità di scansione senza contatto.

Per ulteriori informazioni su Park NX-Mask: http://parksystems.com/nx-mask/