Park SmartLitho: un nuovo approccio per il nanopatterning utilizzando la litografia AFM

Nuovo software di nanolitografia di Park Systems per la litografia su campioni ferroelettrici.

In questa nota applicativa, imparerai le capacità di #SmartLitho, un nuovo software di nanolitografia di Park Systems per la litografia su campioni ferroelettrici modellando domini locali di un film PZT (titanato di zirconio di piombo) su wafer di silicio. Lo studio dimostra che il nanopatterning mediante nanolitografia AFM, in particolare il patterning di ossidazione su substrati di silicio e Park SmartLitho, offre un potenziale significativo per la modifica personalizzata della superficie dei nanosensori, nonché nanodispositivi per la ricerca sui semiconduttori e l'industria.