Pubblicata il 21/08/2026
Componenti chiave e meccanismo di funzionamento del modulo di erogazione di sostanze chimiche (CDM)
Un modulo di erogazione di sostanze chimiche (CDM, Chemical Delivery Module) è un sottosistema critico utilizzato per immagazzinare, condizionare, dosare e distribuire sostanze chimiche di processo nella produzione di semiconduttori, nella produzione di componenti elettronici, nella produzione di fotovoltaico, nei materiali avanzati, nell'industria farmaceutica e in altr...