Pubblicata il 21/08/2026
Regolatore di gas ad altissima purezza di grado semiconduttore per il controllo dei gas di processo
I gas ad altissima purezza (UHP) sono essenziali per la moderna produzione di semiconduttori. Gas di processo come azoto (N₂), argon (Ar), idrogeno (H₂), ossigeno (O₂), anidride carbonica (CO₂) e vari gas speciali vengono utilizzati in tutte le fasi della fabbricazione dei wafer, inclusi i processi di deposizione, incisione, impiantazione ionica, pulizia, drogaggio e spu...